فرن الأنبوب الأفقي
2.LAB BOX FURNACE GIENCES: 1L -36 l
3. يمكن أن تصل درجة حرارة العمل إلى 1200 درجة -1700
*** قائمة الأسعار لكامل أعلاه ، استفسرنا عن الحصول على
الوصف
معلمات التقنية
مقدمة لفرن الأنبوب الأفقي، هو معدات التدفئة المستخدمة على نطاق واسع في علوم المواد والهندسة الكيميائية وتصنيع أشباه الموصلات وغيرها من المجالات. تكمن الميزات الهيكلية في الترتيب الأفقي لأنابيب الفرن ، والتي يتم تسخينها عناصر التدفئة لعلاج المواد داخل أنابيب الفرن. إنه يسخن العينة من خلال أنابيب الفرن المرتبة أفقياً ، والتي لديها مزايا التحكم الدقيق في درجة الحرارة ، والتدفئة الموحدة ، والتشغيل السهل.
خاصة في تصنيع أشباه الموصلات ، لديها مجموعة واسعة من التطبيقات وقيمة كبيرة. إن بنيتها ووظائفها الفريدة تجعلها ذات قيمة عالية في التطبيقات مثل الصلب السيليكون ، والمعالجة الحرارية ، وعملية المعادن ، وعملية الحفر ، وعملية التغليف. في الوقت نفسه ، فإن التحكم عالي الدقة ، والمعالجة عالية الكفاءة ، والقدرة على التكيف الجيدة ، والاستقرار الممتاز لتكنولوجيا المعلومات يجعلها موثوقة للغاية ومستقرة في تصنيع أشباه الموصلات.
المعلمة
مبدأ العمل
مبدأ العمل من أفرن الأنبوب الأفقييعتمد على مبادئ التوصيل الحراري والحمل الحراري. عندما يتم تشغيل عنصر التدفئة للتدفئة ، يتم نقل الحرارة إلى أنبوب الفرن والعينة من خلال التوصيل الحراري ، بينما يوزع الهواء الساخن داخل الفرن بالتساوي الحرارة في جميع أنحاء الفرن بأكمله من خلال الحمل الحراري.
عملية التدفئة:
بعد تشغيل عنصر التدفئة ، يولد الحرارة وينقلها إلى أنبوب الفرن. بعد تسخين أنبوب الفرن ، ينقل الحرارة إلى العينة في الداخل. بسبب الموصلية الحرارية الممتازة لأنبوب الفرن ، يمكن أن تصل العينة بسرعة إلى درجة الحرارة المحددة.
التحكم في درجة الحرارة:
يراقب نظام التحكم في درجة الحرارة درجة الحرارة داخل الفرن في الوقت الفعلي ويضبط قوة عنصر التدفئة بناءً على الفرق بين درجة حرارة المجموعة ودرجة الحرارة المقاسة. عندما تكون درجة الحرارة المقاسة أعلى من درجة حرارة المجموعة ، تقلل وحدة التحكم من قوة عنصر التدفئة ؛ عندما تكون درجة الحرارة المقاسة أقل من درجة حرارة المجموعة ، تزيد وحدة التحكم من قوة عنصر التدفئة. عن طريق ضبط قوة عنصر التدفئة باستمرار ، يمكن الحفاظ على درجة الحرارة داخل الفرن ثابتًا.
التحكم في الجو:
يتحكم نظام التحكم في الجو في بيئة الغلاف الجوي داخل الفرن عن طريق ضبط معدل تدفق الغاز ونوعه. على سبيل المثال ، في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، من الضروري التحكم في محتوى البخار بالأكسجين وبخار الماء داخل الفرن لتجنب عينة الأكسدة والتلوث. يمكن لنظام التحكم في الجو التحكم بدقة في بيئة الغلاف الجوي داخل الفرن لتلبية متطلبات العملية.
التطبيق المحدد لأصنع الأنبوب الأفقي في تصنيع أشباه الموصلات
يحتوي Aperizntal Tube Furnce على مجموعة واسعة من التطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات ، وهيكله ووظائفه الفريدة يجعلها واحدة من المعدات التي لا غنى عنها في عملية معالجة أشباه الموصلات.
الهيكل الأساسي ومبدأ العمل
صندوق الأنبوب الأفق هو معدات معالجة أشباه الموصلات شائعة الاستخدام ، والتي تبدو وكأنها أنبوب طويل ولديه غرفة تفاعل عالية درجة الحرارة في الداخل. يعتمد الجهاز طريقة تحكم في الجو ، ويمكن اختيار بيئات الغلاف الجوي المختلفة وفقًا لمتطلبات المعالجة المختلفة لتحقيق أفضل تأثير للمعالجة.
يتمثل مبدأ العمل في أصحاب الأنبوب السريع في تسخين المواد المتفاعلة داخل تجويف الفرن ، مما تسبب في خضوعها للتفاعلات الكيميائية أو التغيرات الفيزيائية في درجات حرارة عالية ، وبالتالي تحقيق الغرض من المعالجة. في تصنيع أشباه الموصلات ، يتم استخدام أركان الأنبوب الأفقي بشكل رئيسي في الصلب والمعالجة الحرارية من رقائق السيليكون.
التطبيق في السيليكون رقاقة الصلب
تحسين سلامة شبكة رقاقة السيليكون
تعد Silicon Wefer واحدة من المواد المهمة في صناعة أشباه الموصلات ، كما أن جودتها وأدائها تؤثر بشكل مباشر على موثوقية وأداء أجهزة أشباه الموصلات. أثناء المعالجة ، تكون رقائق السيليكون عرضة لتمتد حدود الحبوب بسبب الإجهاد ، والتي يمكن أن تؤدي إلى كسر وتلف بلورات السيليكون. من خلال الصلب ذو درجة حرارة عالية في فرن الأنبوب horiontal ، يمكن إزالة الإجهاد في رقاقة السيليكون ، مع الحفاظ عليه سليمة وتجنب الأضرار التي لحقت بشبكة الويفر السيليكون.
أثناء عملية الصلب ، يتم وضع رقاقة السيليكون داخل فرن أنبوب horiontal ويتم الاحتفاظ به في درجة حرارة عالية لفترة من الوقت ، مما يطلق تدريجياً الإجهاد الداخلي لرقاقة السيليكون وإعادة ترتيب الشبكة ، مما يؤدي إلى تحسين سلامة شعرية الويفر للسيليكون.
تحسين الخواص الكهربائية للرقائق السيليكون
تعد الخواص الكهربائية لرقصات السيليكون أحد العوامل الرئيسية التي تؤثر على أداء أجهزة أشباه الموصلات. من خلال الصلب في فرن الأنبوب horiontal ، يمكن تحسين الخواص الكهربائية لرقصات السيليكون ، ويمكن تعزيز الموصلية والاستقرار.
أثناء عملية الصلب ، يتفاعل رقاقة السيليكون مع الغلاف الجوي داخل الفرن في درجات حرارة عالية ، مما يزيل الأكسيد على سطح رقاقة السيليكون وتنشيط ذرات الشوائب داخل رقاقة السيليكون ، وبالتالي تحسين خصائصه الكهربائية.
إزالة الأكاسيد من سطح رقائق السيليكون
غالبًا ما يحتوي سطح رقائق السيليكون على أكاسيد ، والتي يمكن أن تؤثر على الموصلية والاستقرار. أثناء عملية التصنيع ، من الضروري إزالة أكاسيد من سطح رقائق السيليكون لضمان تسطيحها ونعامها ، وبالتالي تحسين أداء أجهزة أشباه الموصلات.
يمكن لفرن أنبوب horiontal إزالة الأكاسيد على سطح رقائق السيليكون من خلال التحكم في الجو. أثناء عملية الصلب ، يتفاعل الجو الموجود داخل الفرن مع الأكسيد على سطح رقاقة السيليكون لتوليد مواد متقلبة ، ثم يتم تصريفها عبر نظام العادم للفرن لتحقيق هدف إزالة الأكسيد.
تطبيق في معالجة حرارة الويفر السيليكون
السيطرة على رقائق السيليكون المخدرة
في أجهزة أشباه الموصلات ، مطلوب رقائق السيليكون المخدر بمواد مختلفة بسبب متطلبات الأداء الكهربائي المتغير. يمكن لفرن الأنبوب horiontal استخدام معلمات التحكم في الغلاف الجوي المختلفة للتحكم في درجة وعمق المنشطات من رقائق السيليكون ، من أجل تلبية متطلبات الأجهزة المختلفة لمقدمية رقاقة السيليكون.
أثناء عملية المنشطات ، يتم وضع رقاقة السيليكون داخل فرن أنبوب horiontal ، ويتفاعل الغلاف الجوي داخل الفرن مع رقاقة السيليكون ، مما يسمح للذرات المخدرة بالدخول إلى الداخل من رقاقة السيليكون. عن طريق ضبط المعلمات مثل الغلاف الجوي ودرجة الحرارة داخل الفرن ، يمكن التحكم في عدد وتوزيع الذرات المخدر لتحقيق تأثير المنشطات المطلوب.
تحضير الأفلام الرقيقة على سطح رقاقة السيليكون
في تصنيع أشباه الموصلات ، من الضروري في بعض الأحيان إعداد فيلم رفيع على سطح رقاقة السيليكون لتحسين أدائه أو تحقيق وظائف محددة. يمكن استخدام فرن الأنبوب الأفق لإعداد فيلم رفيع على سطح رقائق السيليكون.
أثناء عملية إعداد الفيلم الرقيقة ، يتم وضع رقاقة السيليكون داخل فرنس أنبوب أفقي ، ويتفاعل الجو الموجود داخل الفرن مع سطح رقاقة السيليكون في درجات حرارة عالية لتوليد الفيلم الرقيق المطلوب. عن طريق ضبط المعلمات مثل الغلاف الجوي ودرجة الحرارة ووقت التفاعل داخل الفرن ، يمكن التحكم في سمك وتكوين وخصائص الفيلم.
أكسدة ونيترنج من رقائق السيليكون
تعد أكسدة ونيتمات رقائق السيليكون خطوات عملية مهمة في تصنيع أشباه الموصلات. يمكن استخدام فرن أنبوب الأنبوب للأكسدة ومعالجة النترهة من رقائق السيليكون.
أثناء عملية الأكسدة ، يتم وضع رقاقة السيليكون في غرفة الفرن من فرن الأنبوب الأفق ، ويتفاعل الأكسجين في غرفة الفرن مع سطح رقاقة السيليكون عند درجة حرارة عالية لتشكيل فيلم ثاني أكسيد السيليكون. عن طريق ضبط المعلمات مثل تركيز الأكسجين ، ودرجة الحرارة ، ووقت التفاعل داخل الفرن ، يمكن التحكم في سماكة وخصائص فيلم ثاني أكسيد السيليكون.
أثناء عملية النترهة ، يتم وضع رقاقة السيليكون داخل فرن أنبوب الأنبوب ، ويتفاعل غاز النيتروجين داخل الفرن مع سطح رقاقة السيليكون في درجات حرارة عالية لتشكيل فيلم نيتريد السيليكون. تتمتع أفلام نيتريد السيليكون الرقيقة بمقاومة ممتازة للارتداء ، ومقاومة التآكل ، واستقرار درجات الحرارة العالية ، والتي يمكن استخدامها لحماية سطح رقائق السيليكون أو تحقيق وظائف محددة.
تطبيقات أخرى من فرن الأنبوب الأفقي في تصنيع أشباه الموصلات
عملية تعديل المعادن
تعتبر عملية تحرير المعادن واحدة من الخطوات المهمة في تصنيع أشباه الموصلات ، وتستخدم لتشكيل أقطاب معدنية أو أسلاك على رقائق السيليكون. يمكن استخدام أفران أنبوب Horizntal لعلاج الصلب في عمليات المعادن لتحسين التصاق واستقرار الأقطاب المعدنية أو الأسلاك.
أثناء عملية الصلب ، يتم وضع رقاقة السيليكون المعدنية في غرفة الفرن من فرن الأنبوب الأفق ويتم الاحتفاظ به في درجة حرارة عالية لفترة من الوقت لجعل الترابط بين القطب المعدني أو السلك والسيليكون بويفر أكثر صرامة ، وبالتالي تحسين التصاق واستقراره.
عملية الحفر
عملية الحفر هي خطوة تستخدم في تصنيع أشباه الموصلات لإزالة المواد الزائدة من سطح رقائق السيليكون. يمكن استخدام فرن الأنبوب الأفق لعلاج الصلب بعد عملية الحفر لإزالة الضرر والإجهاد الناتج أثناء عملية الحفر.
أثناء عملية الصلب ، يتم وضع رقاقة السيليكون المحفور داخل فرن أنبوب الأفق ويتم الاحتفاظ به في درجة حرارة عالية لفترة من الوقت ، مما يطلق تدريجياً الإجهاد الداخلي للرقاقة السيليكون وإعادة ترتيب الشبكة ، وبالتالي إزالة الضرر والتوتر الناتج أثناء عملية النقش.
عملية التغليف
عملية التغليف هي الخطوة الأخيرة في تصنيع أشباه الموصلات ، وتستخدم لتغليف أجهزة أشباه الموصلات داخل الأصداف الواقية لتحسين موثوقيتها واستقرارها. يمكن استخدام فرن أنبوب Horizntal لعلاج الصلب في عمليات التغليف لإزالة الإجهاد والأضرار الناتجة أثناء عملية التغليف.
أثناء عملية الصلب ، يتم وضع جهاز أشباه الموصلات المعبأة داخل فرن أنبوب Horizntal ويتم الاحتفاظ به في درجة حرارة عالية لفترة من الوقت لإطلاق الإجهاد داخل مادة التغليف تدريجياً ، وإعادة ترتيب الشبكة ، وإزالة الإجهاد والأضرار الناتجة أثناء عملية التغليف.
تقليل الكفاءة الحرارية لدرجة حرارة العادم
تصميم قسم الحمل الحراري المحسن
زيادة عدد أنابيب الحمل الحراري
من خلال زيادة عدد أنابيب الحمل الحراري ، يمكن توسيع منطقة التلامس بين غاز المداخن وسطح التسخين ، وذلك لتحسين كفاءة تبادل الحرارة وتقليل درجة حرارة العادم.
ترتيب أنبوب الحمل الحراري المحسن
ترتيب معقول لأنبوب الحمل الحراري يجعل من أكثر فعالية لالتقاط ونقل حرارة غاز المداخن. على سبيل المثال ، يمكن استخدام التصميم المتداخل أو التصميم الحلزوني لزيادة مسار التدفق ووقت الإقامة للدخان في الأنبوب.
تحسين كفاءة سطح التدفئة
استخدام مواد نقل الحرارة الفعالة
حدد المواد ذات الموصلية الحرارية العالية لجعل أسطح التدفئة ، مثل الفولاذ المقاوم للصدأ ، وسبائك النحاس ، وما إلى ذلك ، لتحسين كفاءة تبادل الحرارة.
حافظ على نظافة سطح التدفئة
قم بتنظيف الغبار والأوساخ بانتظام على سطح التدفئة والحفاظ على سطحه نظيفًا لتحسين كفاءة نقل الحرارة. سوف يقلل تراكم الغبار والأوساخ من أداء نقل الحرارة لسطح التدفئة ، مما يؤدي إلى زيادة في درجة حرارة العادم.
اضبط عملية الاحتراق
السيطرة المعقولة على معامل الهواء الزائد
معامل الهواء الزائد هو نسبة إمدادات الهواء الفعلية إلى إمدادات الهواء النظرية. السيطرة المعقولة على معامل الهواء الزائد ، وتجنب الكثير من الهواء في الفرن ، يمكن أن يقلل من حجم الدخان ، وبالتالي تقليل درجة حرارة العادم.
تحسين كفاءة احتراق الوقود
من خلال تحسين تصميم الموقد وضبط معلمات الاحتراق ، مثل سرعة حقن الوقود ودرجة حرارة غرفة الاحتراق ، يمكن تحسين كفاءة الاحتراق في الوقود ، ويمكن تقليل كمية وقود الاحتراق غير المكتمل ، وبالتالي تقليل درجة حرارة العادم.
زيادة معدات استرداد حرارة النفايات
تثبيت مسجل الهواء
يمكن لمؤجر الهواء استخدام حرارة مضيعة غاز المداخن لتسخين الهواء الذي يدخل الفرن ، وبالتالي تحسين كفاءة الاحتراق وتقليل درجة حرارة العادم.
قم بإعداد غلاية حرارة النفايات
يمكن لغلاية حرارة النفايات أن تسترد حرارة النفايات في غاز المداخن وتحويلها إلى طاقة مفيدة مثل البخار أو الماء الساخن ، مما يقلل من درجة حرارة العادم وتحسين كفاءة استخدام الطاقة.
تدابير أخرى
تعزيز تدابير العزل
يمكن أن يؤدي معالجة الحفاظ على الحرارة الجيدة لجسم الفرن من فرن الأنبوب الأفقي إلى تقليل فقدان الحرارة ويقلل من درجة حرارة العادم.
صيانة وصيانة منتظمة
يمكن لصيانة وصيانة فرن الأنبوب الأفقي ، مثل فحص سطح التدفئة ، وتنظيف الرماد ، وضبط معلمات الاحتراق ، أن يضمن تشغيله الطبيعي ويقلل من درجة حرارة عادم الدخان.
تجدر الإشارة إلى أنه في عملية تقليل درجة حرارة عادم الدخان ، يجب النظر في عوامل مثل الاقتصاد وسلامة وموثوقية المعدات بشكل شامل. في الوقت نفسه ، من الضروري أيضًا اختيار التدابير والأساليب المناسبة وفقًا لمتطلبات العملية المحددة وظروف التشغيل.
بالإضافة إلى ذلك ، عندما تكون درجة حرارة العادم منخفضة للغاية ، فقد تتسبب في انخفاض تآكل نقطة الندى على سطح تبادل الحرارة. لذلك ، عند اختيار درجة حرارة العادم ، يجب تقييم عوامل مثل الكفاءة الحرارية وعمر المعدات لضمان أن درجة حرارة العادم يمكن أن تقلل من فقدان الحرارة دون التسبب في تلف المعدات.
الوسم : فرن الأنبوب الأفقي ، الصين مصنّعين للأنبوب الأنبوب الأفقي والموردون والمصنع
زوج من
فرن أنبوب درجة حرارة عاليةفي المادة التالية
تقسيم الأنبوب الفرنإرسال التحقيق
